Photolithography 도입 (3)

포토공정의 과정을 쓱 훑어보자면 웨이퍼를 씻고, PR을 도포하고, 굽고, 빛을 쪼이고, 현상하고... 뭐 이런 과정이다.

옛날에는 이런 과정들을 일일이 차례대로 했다면 요즘엔 Track-Stepper intergrated system을 도입해서 몇개씩 묶어서 진행한다고 한다 이러면 공정 시간도 줄고 비용도 줄어들지 않을까? 

 

포토공정의 과정을 간단한 과정으로 한번 봐보자.

1)웨이퍼를 씻고 얇은 필름을 증착한다(증착공정)

2)PR을 덮는다.

3)액상형인 PR을 한번 구움으로서 고형을로 만든다(soft bake)

3)마스크를 덮고 빛을 비추고 필요없는 PR 부분을 없앤다.

4)식각한다.

 

이러한 과정들이 이뤄지는 공간을 Photo Bay라고 하는데 실제 공정을 겪는 것을 photo cell이라고 한다.

 

포토공정 과정중 Etch-back 과 Lift-off 과정이 있는데 두 과정은 각각 쓰이는 곳이 다른데 Lift-off process는 많이 쓰이진 않는다고 한다. 내용은 사진으로 대체하겠다.